3D光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

　　1.表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）

　　2.幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

　　3D光學(xué)輪廓儀儀的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)楣鈱W(xué)3D表面輪廓儀。

　　3D光學(xué)輪廓儀主要功能：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。共聚焦算法Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、干涉

　　?相位差干涉 (PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

　　白光干涉 (VSI)

　　白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以納米級的縱向分辨率。

　　3、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗，特別設(shè)計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

　　4、薄膜測量

　　用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，小的測量點為5um。因為系統(tǒng)里有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。

　　5、測量及分析軟件

　　SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。它將用戶進入3D的世界，提供*用戶體驗。在軟件界面內(nèi)，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時還能顯示和分析數(shù)據(jù)。

　　6、強大的分析軟件

　　增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實現(xiàn)全自動測量和分析。