高性能X射線熒光分析儀的功能：

　　XRF是基于X射線的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態(tài)，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長，對應(yīng)的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現(xiàn)對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現(xiàn)元素的定量和半定量分析。

　　高性能X射線熒光分析儀具有以下優(yōu)點：

　　a）分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　b）X射線熒光光譜儀跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。

　　e）分析精密度高。

　　f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。