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四探針電阻率測量儀

簡要描述:Filmetrics R54四探針電阻率測量儀是KLA薄膜電阻和導(dǎo)電率測繪系統(tǒng),從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品,薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都比較重要。R54在功能上針對(duì)金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進(jìn)行了優(yōu)化。

  • 產(chǎn)品型號(hào):R54
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-08-22
  • 訪  問  量:1410
產(chǎn)品詳情

R54四探針電阻率測量儀


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薄膜電阻率測繪系統(tǒng)

Filmetrics R54是KLA薄膜電阻和導(dǎo)電率測繪系統(tǒng),從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品,薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都比較重要。R54在功能上針對(duì)金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進(jìn)行了優(yōu)化。

系統(tǒng)優(yōu)勢

  • 測試點(diǎn)自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標(biāo)以及自定義配置

  • 可選配可容納300毫米圓形或A4(210mm*297mm)樣品

  • 導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜電阻,10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍適用

  • 接觸式四點(diǎn)探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置

  • 封閉系統(tǒng)便于測量光敏或者環(huán)境敏感樣品

  • 支持15mm 樣品高度

  • 高精度 X-Y 平臺(tái)


應(yīng)用市場

  • 半導(dǎo)體

  • *進(jìn)封裝

  • 平板和VR顯示

  • 穿戴設(shè)備

  • 化合物半導(dǎo)體

  • 太陽能

  • 印刷電路

  • 導(dǎo)電材料


RsMapper軟件:

測量自動(dòng)化地圖模式生成器,內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域,從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。

這只是您可以使用的一些參數(shù)。

進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

  • 圓形或正方形地圖

  • 徑向或矩形圖案

  • 中心或邊緣排除

  • 點(diǎn)密度











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